ในปัจจุบัน เทคโนโลยีต่างๆ มีการพัฒนาอย่างรวดเร็ว โดยเฉพาะอย่างยิ่งเทคโนโลยีทางด้านอิเล็กทรอนิกส์ ที่พยายามพัฒนาให้อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ต่างๆ มีขนาดเล็กลงและมีประสิทธิภาพมากยิ่งขึ้น ทำให้อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ต่างๆ เร่งผลักดันและปรับปรุงกระบวนการผลิตให้สามารถผลิตลายวงจรขนาดเล็กได้ ปัญหาหนึ่งที่พบในกระบวนการผลิตวงจรรวมด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร (Photolithography) โดยเฉพาะในวงจรขนาดเล็ก คือ ความผิดเพี้ยนของลายวงจร ซึ่งทำให้ลายวงจรที่ผลิตได้มีรูปร่างและขนาดแตกต่างไปจากที่ออกแบบไว้  ส่งผลให้ประสิทธิภาพของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ออกแบบไว้ลดต่ำลง ปัญหาดังกล่าวเกิดจากผลของความคลาดเคลื่อนทางแสงซึ่งสามารถแก้ไขได้โดยเพิ่มความละเอียดของเครื่องมือในการสร้างลายวงจร กล่าวคือ ลดขนาดความยาวคลื่นของการฉายแสง หรือเลือกใช้เลนส์ที่มีประสิทธิภาพสูงขึ้น แต่แนวทางการแก้ไขปัญหาดังกล่าวมีข้อจำกัดทางเทคโนโลยีและทางเศรษฐกิจสำหรับกระบวนการผลิตในประเทศไทย เนื่องจากต้องใช้เงินลงทุนมหาศาล และอาศัยเทคโนโลยีที่ก้าวหน้าอย่างมาก

รูปที่ 2 ตัวอย่างของการชดเชยความคลาดเคลื่อนทางแสงของลาย Contact Hole

      
              โครงงานนี้จึงได้นำเสนอแนวทางการแก้ไขปัญหาความผิดเพี้ยนของลายวงจรด้วยเทคนิคการชดเชยความคลาดเคลื่อนทางแสง (Optical Proximity Correction) ซึ่งสามารถนำมาใช้ประโยชน์และพัฒนาอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ภายในประเทศได้