|
ในงานอุตสาหกรรมส่วนใหญ่จะมีกระบวนการในวัดเพื่อหาค่าผลของชิ้นงานที่ผลิตออกมา
โดยในวิธีการวัดนั้นมีมากมายหลายประเภทตามแต่ละเครื่องมือวัดที่ใช้หรือรูปแบบของงานนั้นๆ
โดยบางลักษณะงานต้องวัด โดยอ้างอิงกับแท่นระดับ หรืออ้างอิงจุดเริ่มต้นบนแท่นระดับ
เพื่อจะได้ค่าที่ถูกต้องแม่นยำขึ้น
ในลักษณะของแท่นระดับหรือเรียกว่าโต๊ะระดับ
(Surface Plate) นั้นมีหลายประเภท เช่นโต๊ะระดับที่ทำจากหินแกรนิต
โต๊ะระดับที่ทำจากเหล็กหล่อ เป็นต้น ตามแต่ละลักษณะงานที่ใช้ แต่ในสภาพการทำงานที่ใช้
โต๊ะระดับ (Surface Plate) เมื่อถูกใช้ไปนานๆ โดยถูกวางด้วยของหนักๆ
หรือมีชิ้นงานลากบนพื้นผิวโต๊ะระดับ (Surface Plate) ย่อมจะทำให้เกิดการสึกหรอบนพื้นผิวโต๊ะระดับ
(Surface Plate) และทำให้เกิดความคลาดเคลื่อนในผลของการวัดได้ โดยคุณสมบัติของโต๊ะระดับ
(Surface Plate) นั้นมีหลายเกรด โดยแต่ละเกรดจะมีค่าความเรียบอยู่ในระดับของไมครอน(µm)
ซึ่งในการที่จะหาความผิดพลาดจากโต๊ะระดับ (Surface Plate) ที่ถูกใช้งานนั้น
จะต้องหาเครื่องมือวัดที่มีความถูกต้องสูงมาทำการตรวจสอบหาความผิดพลาดในลักษณะของความเรียบ
(Flatness)
ในการตรวจสอบหาความผิดพลาดในด้านความเรียบ
ได้นำเทคโนโลยีทางด้านเลเซอร์มาใช้ในการตรวจสอบ โดยเป็นเลเซอร์ที่เรียกว่า
Laser Interferometerเพราะเป็นเครื่องมือวัดมีความถูกต้องสูงกว่าระดับ1ไมครอน
(µm) และสามารถแสดงผลการตรวจสอบความเรียบได้อย่างครอบคลุมและถูกต้อง
ในนิยามของ Laser Interferometer เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการวัดค่าความถูกต้องของการเคลื่อนที่โดยอาศัย
หลักการแทรกสอดของแสงเลเซอร์ของส่วนที่เคลื่อนที่ละส่วนที่หยุดนิ่ง
โยสอดคล้องกับหลักทฤษฎีของ Michelson Interferometer ที่กล่าวว่า แสงจากตัวกำเนิดแสงจะถูก
Beam-Splitter's แยกแสงออกเป็น 2 สวน คือส่วนของแสงอ้างอิงและส่วนของการวัดเคลื่อนที่
แสงทั้ง2 จะถูกสะท้อนด้วยกระจก M1(ไม่เคลื่อนที่) และM2 (เคลื่อนที่โดยวางบนแกนของเครื่องจักรหรือเครื่องวัดที่ต้องการวัด)แล้วทำการแทรกสอดกัน
(Interferance) ที่จุดนี้ถ้ากระจก M2 เคลื่อนที่ในทศทางขนานกับแกนของแสง
Photoelectric Cell จะวัดค่าความเข้นของแสงที่สะท้อนมาจากกระจก M2
แล้วเปรียบเทียบกับความเข้นของแสงที่สะท้อนมาจากกระจก M1 นำค่าความแตกต่างของความเข้มแสงนี้
ไปคำนวณเป็นระยะการเคลื่อนที่ของแกนเครื่องจักรหรือเครื่องวัดในทิศทางของการเคลื่อนที่กระจก
M2
จากหลักเกณฑ์ในทฤษฎีที่กล่าวมาจึงนำมาใช้ในการตรวจสอบโต๊ะระดับ
(Surface Plate) เพื่อหาความเรียบของโต๊ะระดับ ดังรูปข้างล่าง
 
|
